檢索結果：共3筆資料 檢索策略： "朱瑾".cadvisor (精準) and ckeyword.raw="非晶薄膜"
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本論文主要研究方向為利用氧化物(鈧酸鈥，HoScOx)非晶薄膜作為擴散阻障層以提升銅鍍層在矽上的高溫穩定性質。結果顯示HoScOx(x=3~4)具有高溫穩定性且為非晶薄膜，其結晶溫度高達900℃以上…
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現今薄膜機械性質分析，多著重於硬度、彈性系數和附著性質等，而薄膜在製作或是使用過程中若產生破裂，會嚴重影響薄膜性能，因此破裂韌性(fracture toughness)亦為薄膜相當重要的機械性質之一…
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電阻式記憶體具有金屬-絕緣體-金屬(MIM)的結構、開關速度快、長時間保留和其它的良好特性，這在非揮發性記憶體中十分具有潛力。由於簡單的MIM結構降低了元件的空間，因此縮短生產時間使得產率提高。在工…